上銀科技自2004年起委託中國機械工程學會(CSME)辦理「上銀機械碩士論文獎」，第20屆得獎名單日前公布，由陽明交大光電所博士、中央大學機械工程學系教授李朱育指導的「單拍偏振干涉之表面形貌量測技術」獲銅質獎。頒獎典禮預計於3月23日中油國光會議廳舉行。

「上銀機械碩士論文獎」旨在激發並鼓勵我國青年學子投入機械工程領域之研發與創新應用，培養產業界優秀之機械工程人才，促進產業界與學術界的互動，協助我國機械工業的升級。

李朱育在中央大學機械工程學系服務近20年，致力於創新光電量測技術的開發，以解決工程上的難題，並開發了多種創新的光學量測技術，包括「外差光柵干涉術」、「表面電漿共振感測術」、「外差散斑干涉術」、「共焦干涉術」和「駐波干涉術」。這些技術已成功應用於各種物理工程參數的量測，包括精密位移、機構角位移和材質折射率等。

李朱育帶領所指導的研究生們憑藉出色的研發成果，積極參與各種專題或論文競賽，並屢獲碩、博士論文殊榮。近年來，隨著三奈米半導體的發展需求，對於晶圓表面品質的精密且快速的量測技術提出了更高的要求。在國科會計畫的支持下，其研究團隊結合了偏振干涉術和Fizeau干涉儀，成功開發出了一種新穎且高效的「偏振干涉儀」，能夠快速且精確地量測待測物的表面形貌。這套量測系統利用相互正交的偏振光束形成干涉影像，透過自行開發的演算法及程式，即可迅速重建晶圓的三維形貌。與過去的移相干涉儀相比，這項技術無需使用相位調制器，僅需一張偏振干涉圖像即可計算待測物的表面形貌。

甫獲得第20屆上銀機械碩士論文獎「銅質獎」的論文「單拍偏振干涉之表面形貌量測技術」是李朱育的碩士班學生蔡岳哲的研究。身為指導教授，李朱育表示非常以此為榮，將會繼續努力在光電量測技術領域取得更多突破性的成果。而且也透露此研究技術目前正在申請專利中。